세계적 반도체 장비기업 에이에스엠(ASM), 화성에 혁신제조센터 준공

반도체 플라즈마원자층증착(PEALD) 장비 연구 및 제조시설 집적화

국내 반도체 기업의 기술 경쟁력 확보와 도내 중소기업과의 상생 협력 기대

반도체 증착장비 제조기업 에이에스엠(ASM) 혁신제조센터 준공식

반도체 증착장비 제조기업 에이에스엠(ASM) 혁신제조센터 준공식

권대현 기자 / 세계적 첨단 반도체 증착장비 제조기업 에이에스엠(ASM)이 12월 8일 화성 동탄에서 혁신제조센터 준공식을 개최했다. 2023년 5월 동탄첨단산업단지에서 공사를 시작한 에이에스엠 혁신제조센터는 기존 시설 바로 옆 7,400㎡(2,200평) 규모 부지에 1,362억 원을 투입해 원자층 증착(ALD) 및 플라즈마원자층증착(PEALD) 장비의 혁신 제조시설을 확장했다. 2019년 870억 원을 투자한 이후 투자액을 추가한 증액 투자다.

경기도는 2022년부터 글로벌 지사 간 투자유치 경쟁에서 싱가포르, 미국을 제치고 증액 투자유치에 성공했다. 센터를 통해 장비 연구는 2배, 제조 기능은 기존 시설의 3배로 확대해 국내·외 반도체 기업에 증착장비를 공급할 계획이다.

에이에스엠의 경기도 투자는 전 세계에 진출한 에이에스엠 시설 가운데 유럽 지역을 제외하고 유일하게 연구개발 기능과 제조시설이 결합된 시설이다. 에이에스엠은 2004년 한국의 PEALD 전문 기업인 지니텍코리아(Genitech Korea)를 인수한 이후, 한국에서 PEALD 분야에 특화해 왔다.

이날 준공식에는 히쳄 엠사드(Hichem M`Saad) 에이에스엠 대표(CEO), 폴린 반 데 메르 모어(Pauline van der Meer Mohr) 에이에스엠 경영감독이사회 의장, 이영석 에이에스엠 코리아 대표, 고영인 경기도 경제부지사, 조승문 화성시 제2부시장, 페이터 반 더 플리트(Peter van der Vliet) 주한 네덜란드 대사, 배정수 화성시의회 의장 등 100여 명이 참석했다.

고영인 경제부지사는 “ASM은 국내 업체들과의 협업을 통해 세계시장에서 플라즈마 증착장비 상용화를 이끌며 국내 반도체 장비 기술을 선도해 온 모범적 투자기업”이라며 “에이에스엠을 비롯해 기존 반도체 생산 단지, 인근 소부장 기업과 팹리스 기업들이 연계되면 경기도는 명실상부한 세계적 반도체 메카로 완성될 것이다. 경기도가 모든 힘을 기울여서 돕겠다”라고 말했다.

에이에스엠은 네덜란드 알메르(ALmere)에 본사를 두고 있는 세계 반도체 장비 10위권 내의 기업이다. 전 세계 15개국에 4,600명 이상의 종업원과 반도체 장비 분야 유효 특허 400여 개 이상을 보유하고 있다. 

2015년 경기도와 투자협약을 체결한 후, 2019년 1월 화성시 동탄 첨단산업단지 내에 870억 원을 들여 반도체 증착장비 연구·제조시설에 투자해 440명을 고용한 바 있다. 이후 1,362억 원 상당 증설 투자의 일환으로 올해 반도체 제조시설을 설립했고, 2027년까지 370명 규모의 현지 인력 채용을 진행 중이다. 도는 2022~2024년 본사 재무총괄이사, 전·현직 CEO, 한국지사 대표 등을 지속적으로 면담하며 투자 결정을 적극적으로 지원했다.